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硅溶膠 CMP拋光液 藍寶石研磨拋光液 

概述:拋光漿料的選取要滿足易清洗、拋光速率快以及拋光均勻性好等特點,而硅溶膠作為一種軟質磨料是在SiO2磨粒表面包覆一層無色透明膠體,使其硬度比SiO2磨粒更軟,其粒度約為0.01-0.1um,加工時拋光表面不易造
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拋光漿料的選取要滿足易清洗、拋光速率快以及拋光均勻性好等特點,而硅溶膠作為一種軟質磨料是在SiO2磨粒表面包覆一層無色透明膠體,使其硬度比SiO2磨粒更軟,其粒度約為0.01-0.1um,加工時拋光表面不易造成劃傷,同時其膠體粒子直徑為納米級,具有較大的比表面積,高度的分散性和滲透性,因其粒子表面常吸附OH-而帶負電,具有很好的親水性和憎油性,因此廣泛應用于硅片、二氧化硅、藍寶石等精密光學器件表面的拋光處理。
由于二氧化硅粒度很細,約0.01-0.1μm,因此拋光工件表面的損傷層極微;另外,二氧化硅的硬度和硅片的硬度相近,因此常用于對半導體硅片的拋光。精拋時通常不會采用類似氣相法制備的微米級二氧化硅粒子,而采用納米級的硅溶膠,這是為了減小表面粗糙度和損傷層深度。
二氧化硅是硅溶膠拋光液的重要組成部分,其粒徑大小、致密度、分散度等因素直接影響化學機械拋光的速率和拋光質量。
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