13.56MHz射頻電源（大功率）
概述： 產(chǎn)品性能 該電源輸出功率可達(dá)2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用
產(chǎn)品性能
該電源輸出功率可達(dá)2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對象
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。
- gmpower發(fā)布的信息
- 13.56MHz自動匹配器
- 匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的...
- 2MHz射頻電源
- 該射頻電源采用E類放大器，實(shí)現(xiàn)效率高、高可靠性。大的冗余設(shè)計(jì)，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)波形的純凈。諧波性能優(yōu)越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入...
- 13.56MHz射頻電源（通用型）
- 應(yīng)用于等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源...
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